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为了提高等离子体化学气相沉积（ＰＣＶＤ）涂层的质量，改善基体材料的机械性能，更好地发挥ＰＣＶＤ硬质涂层的使用效果，采用先沉积后热处理的新工艺。结构表明，热处理温度对ＰＣＶＤ－ＴｉＮ涂层的化学成分、显微结构和性能有较大的影响。随着处理温度的提高，涂层的结果度得到大幅度的改善，涂层内的杂质氯含量降低，涂层的（２００）晶面距减小，但在９００℃时，ＰＣＶＤ－ＴｉＮ涂层的显微硬度有一个最低值。