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期刊论文
微晶硅膜MIS结构光位敏探测器的研制
微晶硅膜MIS结构光位敏探测器的研制
来源 :四川大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:changtongct
【摘 要】
:
采用快速退火工艺,促使非晶硅膜固相晶化,获得具备器件质量的微晶硅膜,以此晶化膜作基本材料,采取侧向光伏效应的工作模式,以金属-绝缘体-半导体(MIS)结构成功地研制出了一维微晶硅膜的光
【作 者】
:
杜开瑛
董会宁
【出 处】
:
四川大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1995年6期
【关键词】
:
非晶硅
快速热退火
微晶硅
光位敏探测器
amorphous silicon
rapid annealing
microcrystal silicon
lig
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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采用快速退火工艺,促使非晶硅膜固相晶化,获得具备器件质量的微晶硅膜,以此晶化膜作基本材料,采取侧向光伏效应的工作模式,以金属-绝缘体-半导体(MIS)结构成功地研制出了一维微晶硅膜的光位敏探测器,实验结果表明,该器件具有非晶硅器件与晶体硅器件互补兼容特色。
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