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本文以硅微机械技术为基础研究了微谐振器和集成光学传感器。讨论了不同激励与检测方式下的谐振器的理论、工艺及其性能。并研究了以硅脊形波导为基础制作集成光学传感器的理论与工艺问题。
利用微机械技术的谐振器及集成光学传感器研究
【摘 要】
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本文以硅微机械技术为基础研究了微谐振器和集成光学传感器。讨论了不同激励与检测方式下的谐振器的理论、工艺及其性能。并研究了以硅脊形波导为基础制作集成光学传感器的理
【机 构】
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浙江大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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