【摘 要】
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随着磁盘驱动器的发展，产生了一种提高道密度的新技术，我们称之为光刻伺服技术。综述了光刻伺服技术的发展过程，并对光磁软盘的光刻伺服技术、Ｈｉｔａｃｈｉ公司１７ｋＴ／Ｉｎ硬盘样机的光刻伺服技术进行了
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随着磁盘驱动器的发展，产生了一种提高道密度的新技术，我们称之为光刻伺服技术。综述了光刻伺服技术的发展过程，并对光磁软盘的光刻伺服技术、Ｈｉｔａｃｈｉ公司１７ｋＴ／Ｉｎ硬盘样机的光刻伺服技术进行了较为详细的分析和描述，指出光刻伺服技术已成为提高磁盘驱动器道密度最关键的技术之一，并具有良好的发展前景。
With the development of disk drives, there has been a new technology to improve the density, which we call lithography servo technology. The developing process of lithography servo technology is reviewed. The lithography servo technology of magneto-optical disk and the lithography servo technology of Hitachi’s 17kT / In hard disk prototype are analyzed and described in detail. It is pointed out that lithography servo technology has been improved Disk drive density is one of the most critical technologies, and has good prospects for development.
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