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基于虚拟现实技术的工艺过程仿真是实际工艺过程在计算机上的本质体现。本文采用层次建模的方法对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺过程进行了建模,建立了PECVD工艺过程的仿真环境,阐述了PECVD工艺过程仿真中的关键技术,基于虚拟仿真的V代码,用程序实现了PECVD的虚拟工艺过程仿真。提高了物理样机的设计效率,减少物理样机的设计与试制时间。