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在一直径为80mm的喷动流化床反应装置系统中进行了三氯氢硅的氢还原反应实验。研究了颗粒硅的生长速率与颗粒硅的初始粒径和三氯氢硅分压的关系,建立了颗粒硅的生长速率模,并用实验数据进行关系,得到如下的半经验、半理论模型,该模型能较好地与实验数据相吻合,实验结果证明了用流态化技术进行颗粒硅生产的可行性。与西门子工艺相比,流化床中以提高原料气的转化率,降低能耗和氢配比。因而多晶硅的流态化技术研究有着很好的