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推导出根据原子力显微镜测量得到的电压信号计算法向力和横向力的公式，然后研究用力-距离曲线标定公式中测量系数的方法，并用几种不同的探针和试样测试和确定所用原子力显微镜的测量系数。从测量的结果可以看到，不同探针和试样的测量值较为接近，表明该方法可行。当原子力显微镜测量系统的光路对称时，用本方法标定测量系数较为简单和准确。