RTCVD工艺制备poly—Si薄膜太阳电池的研究

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报道了快速热化学气相沉积(RTCVD)工艺制备多晶硅(poly-Si)薄膜及电池的实验和结果。采用SiH2Cl2作为原料气体,衬底温度为1030℃时,薄膜的生长速率为10nm/s。发现薄膜的平均晶粒度及载流子迁移率与衬底温度和材料有关。用该薄膜在未抛光重掺杂磷的硅衬底上制备1cm2的p+n结样品电池,无减反射涂层,其转换效率为4.54%(AM1.5,100mW/cm2,25℃)。
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