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金属含量极低的新型乙烯单体
金属含量极低的新型乙烯单体
来源 :现代化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:addegoflywzh
【摘 要】
:
日本旭化成精细化学(Asahi Kasei Finechem)公司发明了一种合成乙烯基磺酸(作为乙烯单体)的技术,其金属如钠、钙、铁和铬)含量小于100μg/g。这项成果将会推动新型乙烯单体在光致抗
【出 处】
:
现代化工
【发表日期】
:
2008年11期
【关键词】
:
乙烯单体
金属含量
日本旭化成
光致抗蚀剂
精细化学
制造领域
乙烯基
半导体
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日本旭化成精细化学(Asahi Kasei Finechem)公司发明了一种合成乙烯基磺酸(作为乙烯单体)的技术,其金属如钠、钙、铁和铬)含量小于100μg/g。这项成果将会推动新型乙烯单体在光致抗蚀剂上的快速发展,特别是要求金属含量尽可能低的半导体制造领域。
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