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二次离子质谱仪离子枪溅射速率的能量依赖关系
二次离子质谱仪离子枪溅射速率的能量依赖关系
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gwxy110
【摘 要】
:
本文给出了MIQ-156型SIMS仪器中离子枪溅射速率和一次束能量及扫描档次的数学表达式,并且通过实验测量加以证实;同时还得到了一次束直径和束流强度的线性关系,为SIMS实验参数选择提供了有力依据
【作 者】
:
陈新
陈春华
【机 构】
:
中科院表面物理国家重点开放实验室,中科院半导体研究所
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1995年5期
【关键词】
:
二次离子质谱
溅射速率
一次离子束能量
【基金项目】
:
国家自然科学基金!69376006
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本文给出了MIQ-156型SIMS仪器中离子枪溅射速率和一次束能量及扫描档次的数学表达式,并且通过实验测量加以证实;同时还得到了一次束直径和束流强度的线性关系,为SIMS实验参数选择提供了有力依据。
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