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本文给出了ＭＩＱ－１５６型ＳＩＭＳ仪器中离子枪溅射速率和一次束能量及扫描档次的数学表达式，并且通过实验测量加以证实；同时还得到了一次束直径和束流强度的线性关系，为ＳＩＭＳ实验参数选择提供了有力依据。
二次离子质谱仪离子枪溅射速率的能量依赖关系
【摘 要】
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本文给出了ＭＩＱ－１５６型ＳＩＭＳ仪器中离子枪溅射速率和一次束能量及扫描档次的数学表达式，并且通过实验测量加以证实；同时还得到了一次束直径和束流强度的线性关系，为ＳＩＭＳ实验参数选择提供了有力依据
【机 构】
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中科院表面物理国家重点开放实验室,中科院半导体研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1995年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金!69376006
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