论文部分内容阅读
空间激光通信常采用干涉截止滤光膜对不同波段的光谱进行分光。着重介绍了近红外三波段光学滤光片的研究与制备。根据膜系设计理论，分别选择TiO2和SiO2作为高、低折射率材料，借助膜系设计软件设计优化了合理的膜系，实现了770-860nm及1530-1575nm光谱范围双波段的高透过和1615～1700nm波段的高反射。采用电子枪离子辅助沉积系统进行制备。优化工艺参数，通过调整补偿挡板使膜厚均匀性控制在3％以内。虽然制备膜层较厚，但经检测其光学性能、机械性能及耐环境能力均满足使用要求。用轮廓仪检测所制备膜层的面