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本文论述了关于IC制造中使用的工艺气体和厂房设施、生产设备的危害及防护.
IC制造中的危害和预防
【摘 要】
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本文论述了关于IC制造中使用的工艺气体和厂房设施、生产设备的危害及防护.
【机 构】
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中国电子集团公司第58研究所江苏无锡214035
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2004年3期
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