【摘 要】
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GaN基氮化物材料已成功地用于制备蓝、绿、紫外光发光器件 ,日光盲紫外探测器以及高温、大功率微波电子器件 .由于该材料具有大的禁带宽度、高的压电和热电系数 ,它们还有很
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GaN基氮化物材料已成功地用于制备蓝、绿、紫外光发光器件 ,日光盲紫外探测器以及高温、大功率微波电子器件 .由于该材料具有大的禁带宽度、高的压电和热电系数 ,它们还有很强的其他应用潜力 ,诸如做非挥发存储器以及利用压电和热电效应的电子器件等 .在 2 0世纪 80年代末和 90年代初 ,在GaN基氮化物材料的生长工艺上的突破引发了 90年代GaN基器件 ,特别是光电子和高温、大功率微波器件方面的迅猛发展 .文章评述了GaN基氮化物的材料特性、生长技术和相关器件应用 .
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