【摘 要】
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为解决测温元器件薄而不柔的问题，适应柔性测温技术需求，采用真空卷绕磁控溅射技术制备T型柔性薄膜热电偶。通过对制备过程中溅射功率和时间的研究，系统分析制备条件对柔性薄膜热电偶的薄膜厚度及表面电阻的影响，将T型柔性薄膜热电偶进行校准测试后，确定最佳制备条件。结果表明，80 W直流溅射40 min制得阳极铜膜；150 W直流溅射40 min制得阴极铜镍合金（康铜）膜，组合而成的柔性热电偶测温性能最佳。磁
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院在线检测与通用计量技术研究所
【基金项目】
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上海市科技创新行动计划资助项目（20dz1202106）～～；
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为解决测温元器件薄而不柔的问题，适应柔性测温技术需求，采用真空卷绕磁控溅射技术制备T型柔性薄膜热电偶。通过对制备过程中溅射功率和时间的研究，系统分析制备条件对柔性薄膜热电偶的薄膜厚度及表面电阻的影响，将T型柔性薄膜热电偶进行校准测试后，确定最佳制备条件。结果表明，80 W直流溅射40 min制得阳极铜膜；150 W直流溅射40 min制得阴极铜镍合金（康铜）膜，组合而成的柔性热电偶测温性能最佳。磁控溅射工艺制备厚度为0.05mm、长度为130mm以上的T型柔性薄膜热电偶，其温度测量范围可达-50.0～150.0℃，温度最大偏差仅为±0.3℃，具有良好的灵敏度及测温能力。T型柔性薄膜热电偶的可控制备，实现T型热电偶既柔又薄，减少传统测量方式引起的误差，为其大规模生产应用奠定了基础。
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