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浅析等离子清洗技术在键合工艺中的应用
浅析等离子清洗技术在键合工艺中的应用
来源 :机电工程技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:talltiger
【摘 要】
:
重点介绍了等离子清洗技术在半导体封装中键合工艺方面的应用及其注意事项,从中分别介绍有关等离子清洗技术的基本原理、设备构造,简单分析了在引线键合工艺中等离子清洗的影
【作 者】
:
程佳
【出 处】
:
机电工程技术
【发表日期】
:
2017年S2期
【关键词】
:
等离子体
键合
清洗技术
半导体
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重点介绍了等离子清洗技术在半导体封装中键合工艺方面的应用及其注意事项,从中分别介绍有关等离子清洗技术的基本原理、设备构造,简单分析了在引线键合工艺中等离子清洗的影响,论证了等离子清洗工艺是可以提高产品键合质量可靠性的一种有效手段。
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