低辐射镀膜玻璃的色差分析与检测

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本文从色差的定义与说明入手,简要分析了磁控溅射低辐射镀膜玻璃产生色差的原因,主要有磁控靶内磁场强度不均;工艺气体不纯或气体流不稳定;真空状态不稳定;靶材短路、断路以及传送线出现故障引起的靶材跳闸;工艺参数或走速设置错误以及原片原因等,并相应地提出了减少色差的基本途径和基本的解决办法。接着浅显地讲述了色差的单位;色的宽容量;给出了计算色差的基本原理与色差的检测方法。最后列举了近几年来从国外引进的磁控溅射低辐射镀膜玻璃生产线的几种检测手段。
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