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超精密加工是现代制造技术的一个重要组成部分，是众多大型系统实现简化和扩展功能的必要基础。几上来，超精密加工技术在精度和手段上都有了质的飞跃。依据超必机床各子系统的功能特点介绍了超精密加工的共性技术及其最新发展动态，最后阐述了提高超精密加工精度的途径和方法。
超精密加工及其关键技术的发展
【摘 要】
：
超精密加工是现代制造技术的一个重要组成部分，是众多大型系统实现简化和扩展功能的必要基础。几上来，超精密加工技术在精度和手段上都有了质的飞跃。依据超必机床各子系统的功
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2000年1期
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