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提出了利用激光扫描剥离靶材，沉积膜厚分布均匀的大尺寸高温超导薄膜分析模型。利用这模型取得的结果表明：激光扫描方法沉积的薄膜厚度分布依赖于激光扫描半径、靶面与基片的间距。对于一定均匀性程度要求的薄膜，存在一个能获得最大尺寸薄膜的最佳激光扫描并径。
激光扫描制备大尺寸超导薄膜的理论分析
【摘 要】
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提出了利用激光扫描剥离靶材，沉积膜厚分布均匀的大尺寸高温超导薄膜分析模型。利用这模型取得的结果表明：激光扫描方法沉积的薄膜厚度分布依赖于激光扫描半径、靶面与基片的间
【机 构】
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华中理工大学激光技术国家重点实验室
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1995年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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