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研究了有源面积为９ｍｍ＾２的双面肖特基势垒ＧａＡｓ粒子探测器的电特性。器件工艺简单，结构新疆，反向耐压高于３００Ｖ，反向漏电流密度低，该器件能经受能量为１．５ＭｅＶ，剂量为１０００ｋＧｙ的电子射，电特性正常，是一种抗辐照的粒子探测器。
双面肖特基势垒型GaAs粒子探测器的电特性研究
【摘 要】
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研究了有源面积为９ｍｍ＾２的双面肖特基势垒ＧａＡｓ粒子探测器的电特性。器件工艺简单，结构新疆，反向耐压高于３００Ｖ，反向漏电流密度低，该器件能经受能量为１．５ＭｅＶ，剂量为１０００ｋＧｙ的电子射，电特性正常，是一种抗辐照的粒子
【机 构】
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上海交通大学微电子技术研究所
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1996年1期
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