论文部分内容阅读
ＭＭＳＴ代表了一种新的半导体晶片加工概念，具有对环境净化条件要求不高、加工周期短、加工成本低、自动化程度高等优点，有望成为未来半导体加工厂的新技术模式。本文试图对ＭＭＳＴ技术作一较全面的介绍。
未来半导体加工厂的新技术模式——MMST
【摘 要】
：
ＭＭＳＴ代表了一种新的半导体晶片加工概念，具有对环境净化条件要求不高、加工周期短、加工成本低、自动化程度高等优点，有望成为未来半导体加工厂的新技术模式。本文试图对ＭＭＳＴ技术作一较
【机 构】
：
电子工业部第４７研究所
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
1996年2期
其他文献
在石油化工设备、电站安装中,凝汽器使用铜、钛、奥氏体不锈钢非铁磁性材料,省煤器、水冷壁等应用较多铁磁性钢管。然而,钛金属以其良好的耐腐蚀、低密度、高化强比、抗冲刷
在我国环境侵权纠纷处理过程中,因果关系的鉴定始终是一个亟待解决的难题.为此,笔者设想建立一套环境侵权因果关系的行政鉴定制度,作为对现有法律制度的补充和完善.以充分发
无机化学是研究无机物质组成、结构、性质和变化规律的科学,化学专业的一门非常重要的课程。本文在对研究式教学法进行简要介绍的基础上,重点阐述了研究式教学法在高校无机化
编辑同志: 我是《发展》的老读者,现已离开教学岗位退休在家,好长时间没有读到贵刊,怪想念的。所以我曾在10月间去信向你们索要几本,讲明见杂志后付钱,时过一个礼拜即见到你
综述了近年来有源矩阵晶显示器，场发射晶显示器和发光二极管显示器的研究进展，重点介绍了它们的工作原理，结构和某些关键制备技术，并对它们的发展前景作了简要的展望。
病床是医院为病人提供医疗服务的最基本设施,也是反映医院规模的计量单位。县医院是全县医疗技术指导中心和培训基地,科学合理地确定、设置床位数,能充分发挥县医院人力、物
近来,笔者对我市乡卫生院人才建设的现状,作了广泛调查,现就其现状和对策作粗浅探讨。一、现状(一)基本情况。内江市所辖8县1区,人口800多万,有606个乡卫生院,职工5475人,其
高校立身之本在于立德树人，思政课作为高校思想政治教育的主渠道和主阵地，是落实高校立德树人这一根本任务的关键课程，应坚持正确的政治方向，着力提高思政课的实效性。亲和力是影