【摘 要】
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研制了国内首台化学束外延(CBE)系统。半导体所用此系统进行了CBE实验,获得质量良好的半导体材料。本文给出该系统的设计考虑及CBE实验结果。
Developed the first chemical
【机 构】
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中国科学院半导体所,中国科学院半导体所中国科学院半导体材料科学开放实验室,中国科学院半导体所中国科学院半导体材料科学开放实验室,中国科学院半导体所中国科学院半导体材料科学开放实验室,中国科学院半导体所
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研制了国内首台化学束外延(CBE)系统。半导体所用此系统进行了CBE实验,获得质量良好的半导体材料。本文给出该系统的设计考虑及CBE实验结果。
Developed the first chemical beam epitaxy (CBE) system in China. The system used in the semiconductor CBE experiments to obtain good quality semiconductor materials. This paper gives the system design considerations and CBE experimental results.
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