【摘 要】
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反射镜材料需具有低密度、高弹性模量、高热导率和低热膨胀系数。比较了不同反射镜材料的物理性能和机械性能，与传统光学材料对比，碳化硅具有优越的物理性能和热性能，被认为是轻
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反射镜材料需具有低密度、高弹性模量、高热导率和低热膨胀系数。比较了不同反射镜材料的物理性能和机械性能，与传统光学材料对比，碳化硅具有优越的物理性能和热性能，被认为是轻型反射镜材料的首选。综述了碳化硅反射镜材料常用制备方法的特点。认为反应烧结法和热等静压法适用于制备SiC反射镜基体材料，化学气相沉积法适合用于基体材料增密和制备反射层，反应烧结法结合化学气相沉积工艺是制备SiC反射镜的高效低成本工艺。
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