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综述了测量越过典型有源区形貌的多晶硅线宽偏差，采用光刻模拟程序计算，采用顶层和底层抗反射涂层与否，对从３６５ｍｍ曝光的０．４０μｍ到１９３ｍｍ曝光的０．２２５μｍ范围抗蚀剂成像中所有线宽进行了计算。
365~193nm曝光的亚半微米多晶硅栅控制
【摘 要】
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综述了测量越过典型有源区形貌的多晶硅线宽偏差，采用光刻模拟程序计算，采用顶层和底层抗反射涂层与否，对从３６５ｍｍ曝光的０．４０μｍ到１９３ｍｍ曝光的０．２２５μｍ范围抗蚀剂成像中所有线宽进行了计算。
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2000年4期
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