【摘 要】
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本文报道了两种不同类型的聚(烯烃砜),即聚(环己烯砜)和聚(苯乙烯砜),并对它们进行了物理表征,给出了元素分析、红外光谱、核磁分析、凝胶渗透色谱及热重分析等的测试数据。
【机 构】
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中国科学院感光化学研究所,中国科学院感光化学研究所,中国科学院感光化学研究所
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本文报道了两种不同类型的聚(烯烃砜),即聚(环己烯砜)和聚(苯乙烯砜),并对它们进行了物理表征,给出了元素分析、红外光谱、核磁分析、凝胶渗透色谱及热重分析等的测试数据。 用聚(环己烯砜)和聚(苯乙烯砜)作为抗蚀剂,其曝光特性:前者,灵敏度为5×10~(-6)库仑/厘米~2,分辨率为0.75微米,反差约1.5;后者分别为6×10~(-5)库仑/厘米~2,0.36微米及约2.5。尤为重要的是,聚(苯乙烯砜)具有优良的耐干法刻蚀的性能。 聚(环己烯砜)作为强磁场聚焦电子照相记录材料,分辨率高于1.5微米。 聚(苯乙烯砜)作为远紫外抗蚀剂,分辨率达0.5微米。
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