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亚微米i线和g线投影光刻物镜研制
亚微米i线和g线投影光刻物镜研制
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mfl110
【摘 要】
:
本文介绍了分步重复投影光刻的i线和g线投影光刻镜主要技术指标,设计要点,研制中解决的关键单元技术和设计试制结果。
【作 者】
:
陈旭南
林大键
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
光学曝光
投影光刻物镜
光刻机
optical exposure
i/g-line exposure
projection lithography lens
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本文介绍了分步重复投影光刻的i线和g线投影光刻镜主要技术指标,设计要点,研制中解决的关键单元技术和设计试制结果。
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