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研究了反应气体对辅助加热ＰＣＶＤ－ＴｉＮ薄膜制备的影响。结果表明，提高反应气体中ＴｉＣｌ４薄膜内的氯含本不变。
辅助加热PCVD—TiN薄膜的性能及结构分析
【摘 要】
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研究了反应气体对辅助加热ＰＣＶＤ－ＴｉＮ薄膜制备的影响。结果表明，提高反应气体中ＴｉＣｌ４薄膜内的氯含本不变。
【机 构】
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青岛化工学院等离子体表面技术研究所
【出 处】
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金属热处理
【发表日期】
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1998年8期
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