【摘 要】
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采用离子束增强沉积技术对金刚石热沉材料表面金属化进行了研究，制备了Ｔｉ／Ｎｉ／ＡｕＩｎ和Ｃｕ／ＡｕＩｎ金属化体系。采用俄歇、ＥＤＳ、ＸＲＤ和ＳＣＲＡＴＣＨ方法对膜层和界面进行了分析。
The surface metallization of diamond h
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,香港城市大学,电子工业部第十三研究所
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采用离子束增强沉积技术对金刚石热沉材料表面金属化进行了研究，制备了Ｔｉ／Ｎｉ／ＡｕＩｎ和Ｃｕ／ＡｕＩｎ金属化体系。采用俄歇、ＥＤＳ、ＸＲＤ和ＳＣＲＡＴＣＨ方法对膜层和界面进行了分析。
The surface metallization of diamond heat sink material was studied by ion beam enhanced deposition technique, and Ti / Ni / AuIn and Cu / AuIn metallization systems were prepared. The coatings and interfaces were analyzed by Auger, EDS, XRD and SCRATCH methods.
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