用于特大规模集成器件的浅槽隔离

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用于特大规模集成器件的浅槽隔离=Shallowtrenchisolationforultra-large-scaleinte-grateddevices[刊,英]/Blumenstock,K…∥J.Vac.Sci.,Technol.B,Microel... Shallow trench isolation for very large scale integrated devices = Shallow trench isolation for ultra-large-scale integrated gratings [English, UK] / Blumenstock, K ... ∥J. Vac. Sci. Technol. B, Microel ...
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