【摘 要】
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本文介绍β反散射镀层测厚仪的原理,并给出了设计仪器所依据的计算公式及定标方法,分析了其中各项参数的物理意义及影响因素。进一步讨论了测量误差与实验条件的关系,以及基
【机 构】
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清华大学工程物理系《β测厚》组,清华大学工程物理系《β测厚》组,
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本文介绍β反散射镀层测厚仪的原理,并给出了设计仪器所依据的计算公式及定标方法,分析了其中各项参数的物理意义及影响因素。进一步讨论了测量误差与实验条件的关系,以及基体校正原理。进而介绍仪器的设计思想及仪器的主要指标和原理框图、最后举例说明其用途以期推广应用这一测量技术。
In this paper, the principle of beta backscatter coating thickness gauge is introduced, and the calculation formula and calibration method based on instrument design are given. The physical meaning and influence factors of each parameter are analyzed. Further discussion of the relationship between measurement error and experimental conditions, as well as the principle of matrix correction. And then introduce the design idea of the instrument and the main indicators of the instrument and the block diagram of the principle, and finally give an example to illustrate its use in order to promote the application of this measurement technique.
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Experimental study