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超声分子束注入深度与加料效率是分子束加料研究中的基本课题.在近期开展的超声分子束注入实验中,发现分子束注入深度与等离子体电子温度和密度、分子束源的气压和温度有直接关系,获得了分子束注入深度的定标律.在低温气体源(液氮冷却)的分子束注入实验中,发现分子束流中形成了团簇,其注入深度超过30cm,分析了在低温气源分子束注入实验中的团簇现象.