【摘 要】
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利用脉冲电弧离子镀技术制备了一系列钛含量不同的类金刚石薄膜。对样品研究发现：随着钛含量的增加（原子百分比小于5．3％），薄膜的硬度和应力都开始下降，且应力的下降幅度大于硬度下降
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利用脉冲电弧离子镀技术制备了一系列钛含量不同的类金刚石薄膜。对样品研究发现：随着钛含量的增加（原子百分比小于5．3％），薄膜的硬度和应力都开始下降，且应力的下降幅度大于硬度下降幅度；但当钛含量继续增大时（原子百分比在5．3％和18．0％之间），薄膜的硬度继续保持下降，但薄膜的应力基本保持不变。摩擦系数在钛原子百分比含量小于6．3％时，保持不变，随着钛含量的继续增大，摩擦系数缓慢增加，但当钛含量到达一定值后，其磨损量增加，摩擦系数开始变的不稳定。
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