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针对典型TSV封装结构,基于有限元方法,采用MARC软件对具有特定功能的双层芯片-基板堆叠组装微系统进行了模拟分析。通过改变基板的尺寸厚度,研究关键部位的应力场与位移场分布,从而为设计工艺提供合理可靠的方案。
三维集成封装结构热力可靠性分析
【摘 要】
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针对典型TSV封装结构,基于有限元方法,采用MARC软件对具有特定功能的双层芯片-基板堆叠组装微系统进行了模拟分析。通过改变基板的尺寸厚度,研究关键部位的应力场与位移场分
【机 构】
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中国电子科技集团公司第三十八研究所
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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2019年7期
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