【摘 要】
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研究了在Pt/Ti/SiO2/Si基片上用液态源雾化化学沉积法制备镧钛酸铅[(Pb, La)TiO3,PLT]薄膜的工艺, 并分析了各种因素对其相结构的影响.采用金属有机物热分解工艺的先体溶液,
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研究了在Pt/Ti/SiO2/Si基片上用液态源雾化化学沉积法制备镧钛酸铅[(Pb, La)TiO3,PLT]薄膜的工艺, 并分析了各种因素对其相结构的影响.采用金属有机物热分解工艺的先体溶液, 在沉积阶段, 用超声波将先体溶液雾化, 产生微米级的汽雾, 由载气(Ar)引入沉积室进行沉积, 并在沉积室进行预热处理. 重复上述过程, 直到膜厚达到要求, 再进行退火处理得到均匀、致密的薄膜.此工艺各项参数如下:沉积前沉积室内气压为4×10-3Pa; 沉积时沉积室内气压为8×103～9
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