论文部分内容阅读
分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系，提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构，并通过倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极。理论分析和实验结果表明，倾斜下电极的pull-in电压几乎比平面下电极的pull-in电压降低一半。
具有倾斜下电极的扭臂驱动结构的设计与制作
【摘 要】
：
分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系，提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构，并通过倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极。理论分析和
【机 构】
：
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2003年11期
【基金项目】
：
国家 8 63计划 (No.2 0 0 2 AA3 12 0 2 3 ),国家自然科学基金 (批准号 :6993 70 10 ),吉林省科学计划(No.2 0 0 10 3 19)资助项目~~
其他文献
从电化学角度研究了Ge2Sb2Te5薄膜在化学机械抛光液中的作用,以及不同的pH值和H2O2浓度下的电化学特性.采用Solartron SI1287电化学设备测试了Ge2Sb2Te5薄膜在溶液中的开路电
射频仿真系统是一个复杂的大系统，其中目标回波建模是它的核心。本文针对射频仿真系统目标建模方法、控制实现方案、系统误差进行了详细分析。文章指出模型的关键在于数学仿真
本文针对幼儿美术兴趣, 激发民俗文化资源的利用进行了深入地研究分析.结合本次研究, 发表了一些自己的建议和看法, 希望可以充分发挥出民俗文化资源的价值和作用, 激发幼儿
“数形结合”不但是一种重要的数学思想，还是解决数学问题的重要方案。在小学低年级数学教学中融入数形结合的观念，更重要的是教师在设计、方案以及教学形式上渗透相应的观念。
记者从青海省教育厅了解到，“十二五”期间，青海省化隆县深入推进教育优先发展战略，从2013年起推出高中生免交学杂费、书本费以及住宿费，给家庭贫困的学子和家长带来了福音。目前
利用声子晶体理论设计并制备了高速公路绿化带模拟试样。对模拟试样进行了隔声性能试验测定,重点研究二维声子晶体的拓扑结构/矩阵类型、填充率、矩阵走向等因素对其隔声性能
对（G/′G）展开法进行了简化,并将简化后的方法应用于描述神经纤维中神经冲动传播的著名模型Nagumo方程,获得了其多个精确行波解,并简要地分析了它们的传播方式。
利用双尺度方程和对称性的条件，给出了r=2的每个分量支集长度不同的多尺度和多小波满足对称性的条件，并给出了实际应用中常见的因果滤波器时的对称性条件的简化形式，这些形式更