倾斜下电极相关论文
基于镧改性锆钛酸铅陶瓷(PLZT)的光电效应,提出具有倾斜下电极的新型光电-静电复合驱动器,通过闭环控制仿真研究该驱动器的驱动性......
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构......
分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系 ,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构 ,并通过倾斜一定角度的 (111)硅......
设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关，开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用（110）硅片制作，其......
利用(100)硅片和偏2.5°的(111)硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型2×2光开关.微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在(......
从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发,求解雷诺方程,得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式.通过求解动......
分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系，提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构，并通过倾斜一定角度的(111)硅片的......
采用静电力驱动方式的MOEMS光开关，从运动机制上来说，是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果，......
