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SEMI近日发布了8项应用于半导体、MEMS、FPD和光伏制造产业的新技术标准。这些新的标准由参与SEMI国际标准项目的设备材料供应商、器件制造商的技术专家开发制定，这些新标准是：
SEMI发布8项新技术标准
【摘 要】
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SEMI近日发布了8项应用于半导体、MEMS、FPD和光伏制造产业的新技术标准。这些新的标准由参与SEMI国际标准项目的设备材料供应商、器件制造商的技术专家开发制定，这些新标准是
【出 处】
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电子质量
【发表日期】
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2010年8期
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