光学刻蚀分辨率的极限

来源 :东南大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：samhsa

【摘要】

：

<正> 近年来超大规模集成(ULSI)器件发展十分迅速.以动态随机存贮器(DRAM)而言,其集成度正以每2～3年上升四级的速度不断提高.1991年日本已制成64兆位的动态 RAM,在10×20

【作者】

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顾宁鲁武

【机构】

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东南大学生物科学与医学工程系,东南大学生物科学与医学工程系

【出处】

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东南大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

1993年6期

【关键词】

：

光学刻蚀分辨率极限 lithophotography high resolution phase shifting technology/FELX:fo

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<正> 近年来超大规模集成(ULSI)器件发展十分迅速.以动态随机存贮器(DRAM)而言,其集成度正以每2～3年上升四级的速度不断提高.1991年日本已制成64兆位的动态 RAM,在10×20 mm~2 的面积上包含有1.4×10~3 个元件.微细加工技术(特别是刻蚀技术)的日益进步是推动这种发展的强大动力.在各种刻蚀技术中,当前在微电子工业中发挥重要作用的仍是光学刻蚀方法.

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