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光学刻蚀分辨率的极限
<正> 近年来超大规模集成(ULSI)器件发展十分迅速.以动态随机存贮器(DRAM)而言,其集成度正以每2~3年上升四级的速度不断提高.1991年......
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光学刻蚀
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极限
lithophotography
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