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等离子清洗洗技术(一)
等离子清洗洗技术(一)
来源 :洗净技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:killer258
【摘 要】
:
文章对等离子清洗技术做了全面介绍,不仅介绍了有关等离子的基本概念、低温等离子体制备技术及其相关装置,而且着重介绍了它在精密清洗中的应用及其注意事项,指出等离子清洗
【作 者】
:
熊楚才
【机 构】
:
北京理工大学,100081
【出 处】
:
洗净技术
【发表日期】
:
2003年7期
【关键词】
:
等离子体
清洗
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文章对等离子清洗技术做了全面介绍,不仅介绍了有关等离子的基本概念、低温等离子体制备技术及其相关装置,而且着重介绍了它在精密清洗中的应用及其注意事项,指出等离子清洗技术在淘汰ODS清洗剂过程中能够发挥重要作用
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