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本文综述了近年来日本基于MEMS的传感器在企业和高校的研究进展,简述了各类MEMS传感器的结构特点与微机械加工技术,对我国MEMS传感器的研究与发展将有很大的借鉴作用.
日本基于MEMS传感器的研究进展
【摘 要】
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本文综述了近年来日本基于MEMS的传感器在企业和高校的研究进展,简述了各类MEMS传感器的结构特点与微机械加工技术,对我国MEMS传感器的研究与发展将有很大的借鉴作用.
【机 构】
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日本大阪大学产业科学研究所,中国科学院原子核研究所
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2004年1期
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