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压痕诱发单晶Si非晶化相变区的三维空间分布结构
压痕诱发单晶Si非晶化相变区的三维空间分布结构
来源 :金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:li_qinglong
【摘 要】
:
利用航向电子显微术(TEM)观察了单晶Si维氏压痕区的结构转变。平视和截面像相结合给出了压痕诱导Si非昌化的轮廓图。其区域为与压头相似的倒四棱锥金字塔形。但其棱边夹角小于相对应的
【作 者】
:
吴亚桥
徐永波
【机 构】
:
中国科学院金属研究所材料疲劳与断裂国家重点实验室,固体原子像开放研究实验室
【出 处】
:
金属学报
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
非晶化相变
压痕
空间分布
单晶硅
TEM
amorphization
indentation
three-dimensional structure
s
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利用航向电子显微术(TEM)观察了单晶Si维氏压痕区的结构转变。平视和截面像相结合给出了压痕诱导Si非昌化的轮廓图。其区域为与压头相似的倒四棱锥金字塔形。但其棱边夹角小于相对应的压头相对棱夹角,残留的准确无误痕深度很浅。直接证明了Si的压痕区具有很大的弹性回复量
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