【摘 要】
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从等厚干涉的解释出发,推导出了二维空间的相干方程.基于空间相干方程,利用SLM产生了一个新的空间非相干光源.同时提出了新的相移方案,并结合这个新的相移方案,实现了轴向空
【机 构】
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中国科学技术大学 力学和机械工程系, 合肥 230027Department of Electrical and Computer Engineering,Ben-Gurion University
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从等厚干涉的解释出发,推导出了二维空间的相干方程.基于空间相干方程,利用SLM产生了一个新的空间非相干光源.同时提出了新的相移方案,并结合这个新的相移方案,实现了轴向空间距离的探测和干涉条纹的相移.分析了空间方向角对相干方程的影响,并给出了实验验证.通过对非相干光源的参数和特定的空间距离以及空间方向角的匹配,重建了一个具有标准段差的实际物体的表面形状.为光学表面形状测量提供了新的思路.
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