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根据纳米材料CVD法制备工艺的特殊性对设备的苛刻要求,自主设计开发了一台用于纳米粉体制备用的高温真空电阻炉,介绍了该设备的组成结构及其性能特点,论证了该种电阻炉在相关领域内的应用前景.
CVD法制备纳米材料用高温真空电阻炉的研制
【摘 要】
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根据纳米材料CVD法制备工艺的特殊性对设备的苛刻要求,自主设计开发了一台用于纳米粉体制备用的高温真空电阻炉,介绍了该设备的组成结构及其性能特点,论证了该种电阻炉在相关
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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工业加热
【发表日期】
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2004年期
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