扫描隧道显微镜微位移驱动器(爬行器)的研究

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设计并制作了一种用于扫描隧道显微镜(STM)的吸附式微位移驱动器(爬行器),针对其基本特性,提出了优选制备工艺与优化程序相结合的方法。一了必要的工艺过程,制作了合适的驱动电路,以及合理的控制程序,在控制程序中引入了面向对象采用了Visual C++编程,使程序具有合理的工作模型和良好的用户界面,该爬在的性能与国外同类产品基本相同,造价仅为它们的百分之几。
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