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本文介绍用表面微机械加工技术制成的多晶硅桥形温敏电阻及其在流速传感器中的应用。“桥体”和“桥墩”材料分别为多晶硅和二氧化硅。流速传感器的实验结果表明,在流速为10cm/s下输出可达380mV。
用表面微机械加工技术制成的流速传感器
【摘 要】
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本文介绍用表面微机械加工技术制成的多晶硅桥形温敏电阻及其在流速传感器中的应用。“桥体”和“桥墩”材料分别为多晶硅和二氧化硅。流速传感器的实验结果表明,在流速为10c
【机 构】
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东南大学微电子中心,深圳南海石油公司
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1993年7期
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