【摘 要】
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本文主要介绍了在利用原有 HCD试验装置的基础上增加 C-2H-2 O-2充气系统。在单一的TiN膜基础上开发新的膜系,并进一步论述了制备各种新膜系、前处理过程和制膜的工艺参数。新的膜系具有耐磨
【机 构】
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沈阳真空技术研究所,沈阳真空技术研究所
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本文主要介绍了在利用原有 HCD试验装置的基础上增加 C-2H-2 O-2充气系统。在单一的TiN膜基础上开发新的膜系,并进一步论述了制备各种新膜系、前处理过程和制膜的工艺参数。新的膜系具有耐磨、耐腐、色泽鲜艳和成本低的特点。它展示了PVD法制备各种膜系的前景。尤其在当今的装饰行业更为突出。
This article describes the use of the original HCD test device based on the increase of C-2H-2 O-2 inflatable system. Based on a single TiN membrane, a new membrane system was developed, and the process parameters of preparation of new membrane system, pretreatment process and membrane formation were further discussed. The new membrane system with wear-resistant, corrosion-resistant, bright color and low cost. It shows the prospect of PVD membrane preparation of various membrane systems. Especially in today’s decoration industry is more prominent.
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