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氮碳氧新膜系的研究开发
本文主要介绍了在利用原有 HCD试验装置的基础上增加 C-2H-2 O-2充气系统。在单一的TiN膜基础上开发新的膜系,并进一步论述了制备各种新膜系、前处......
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