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结合电致伸缩陶瓷驱动器和杠杆柔性铰链机构,论述了二维微动工作台微位移机构的设计,建立了微位移机构的机电耦合模型.分析了机构的暂态响应和稳态响应及其影响因素,为微动工作台系统设计、改善微位移机构的响应速度以及控制系统参数的确定提供了理论依据.
微机电系统二维微动工作台微位移机构特性研究
【摘 要】
：
结合电致伸缩陶瓷驱动器和杠杆柔性铰链机构,论述了二维微动工作台微位移机构的设计,建立了微位移机构的机电耦合模型.分析了机构的暂态响应和稳态响应及其影响因素,为微动工
【机 构】
：
南京理工大学
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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2002年6期
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