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本文介绍了制备高纯 AlN 靶材料的化学方法。一次铝粉的投料量可达200g 以上,产物生成率平均高于95%,经化学处理后,残留碳含量低于100 ppm。实验工艺及产物的纯度达到国际文献报道的水平,在国内居领先地位。
低含碳量氮化铝靶材料的制备
【摘 要】
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本文介绍了制备高纯 AlN 靶材料的化学方法。一次铝粉的投料量可达200g 以上,产物生成率平均高于95%,经化学处理后,残留碳含量低于100 ppm。实验工艺及产物的纯度达到国际文
【出 处】
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核动力工程
【发表日期】
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1987年01期
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