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本文报道了一种ＳＭ材料的制备，性能，钝化保护机理和试用结果，该材料具有优良的电性能、钝化保护性能、机械性能和化学稳定性，并经晶闸管生产线工艺论证及应用，能明显地减小漏电流，提高耐压水平和增加产品合格率，该项成果为高压电力半导体器件研究和生产提供了一种高性能的钝化保护材料，具有先进性和实用性。
一种高压器件表面保护材料的研究
【摘 要】
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本文报道了一种ＳＭ材料的制备，性能，钝化保护机理和试用结果，该材料具有优良的电性能、钝化保护性能、机械性能和化学稳定性，并经晶闸管生产线工艺论证及应用，能明显地减小漏电流，提高
【机 构】
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山东师范大学半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1997年5期
【基金项目】
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山东省科委重点资助
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